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Investigation of the Changes of Fabry-Perot Fringe Patterns in Porous Silicon During Etching Process

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제5권 1호 (2012.03)바로가기
  • 페이지
    pp.13-17
  • 저자
    Seunghyun Jang
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A171418

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원문정보

초록

영어
Changes of Fabry-Perot fringe patterns in porous silicon during etching process has been investigated. Four porous silicon samples were prepared with four different etch currents: (a) 10 mA/cm2, (b) 30 mA/cm2, (c) 50 mA/cm2, (d) 100 mA/cm2, respectively. Optical characterization of Fabry-Perot fringe pattern on porous silicon was achieved by Ocean optics 2000 spectrometer. The change of Fabry-Perot fringes was monitored and measured during the etching process. Fabry-Perot fringes pattern start to form after couple of minutes. As the etching time increased, more reflection peaks were observed. Its full width at half maximum (FWHM) decreased rapidly when the etching time increased.

목차

Abstract
 1. Introduction
 2. Experimental Section
  2.1. Sample Preparation
  2.2. Instrumentation and Data Acquisition
 3. Result and Discussion
 4. Conclusion
 References

키워드

Fabry-Perot Fringe Etching Porous Silicon

저자

  • Seunghyun Jang [ Department of Chemistry, University of Wisconsin, Madison, 1101 University Ave., Madison, WI 53706 (USA) ] Corresponding Author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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