현재 위치
Home
학술연구
광섬유를 이용한 미세 광 기계식 가속도 센서의 개발
Development of Micro-opto-mechanical Accelerometer using Optical fiber
-
- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
-
- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
-
- 통권
- 제13권 제4호 (2011.12)바로가기
-
- 페이지
- pp.93-100
-
- 저자
-
- 언어
- 한국어(KOR)
-
- URL
- https://www.earticle.net/Article/A163890
※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
4,000원
원문정보
초록
- 영어
- This paper presents a new type of optical silicon accelerometer using deep reactive ion etching (DRIE) and micro-stereolithography technology. Optical silicon accelerometer is based on a mass suspended by four vertical beams. A vertical shutter at the end of the mass can only moves along the sensing axis in the optical path between two single-mode optical fibers. The shutter modulates intensity of light from a laser diode reaching a photo detector. With the DRIE technique for (100) silicon, it is possible to etch a vertical shutter and beam. This ensures low sensitivity to accelerations that are not along the sensing axis. The microstructure for sensor packaging and optical fiber fixing was fabricated using micro stereolithography technology. Designed sensors are two types and each resonant frequency is about 15 kHz and 5 kHz.
목차
Abstract
1. 서론
2. 센서의 이론 및 설계
2.1 센서의 동작원리
2.2 센서의 구조
2.3 모드 해석
2.4 센서의 패키징
2.5 제작공정
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌
키워드
가속도계 광량변화 마이크로 광조형 광섬유 초소형기전시스템 Accelerometer Intensity Modulation Microstereolithography Optical Fiber MEMS저자
간행물 정보
발행기관
-
- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
-
- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
이 권호 내 다른 논문 / 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) 제13권 제4호
피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)
함께 이용한 논문 이 논문을 다운로드한 분들이 이용한 다른 논문입니다.
출처 : 네이버학술정보
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.