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Performance improvement of 2 stage GM-type pulse tube Cryocooler for cryopump

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  • 발행기관
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) 바로가기
  • 간행물
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) KCI 등재 바로가기
  • 통권
    Vol.13 No.4 (2011.11)바로가기
  • 페이지
    pp.30-35
  • 저자
    Seong-Je Park, Deuk-Yong Koh, Jeong-Kyoon Suh
  • 언어
    영어(ENG)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A159789

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원문정보

초록

영어
This paper describes experimental study and performance improvement of 2 stage Gifford-McMahon (G-M) type pulse tube cryocooler for cryopump. The objective of this study is to improve the efficiency of 2 stage pulse tube cryocooler for substituting 2 stage G-M cryocooler used in cryopump. The target cooling capacities are 5 W at 20 K and 35 W at 80 K for the 1st and the 2nd stage, respectively. These values are good cooling capacities for vacuum level in medium size ICP 200 cryopump. Design of the 2 stage pulse tube cryocooler is conducted by FZKPTR(Forschungs Zentrum Karlsruhe Pulse Tube Refrigerator) program. In order to improve the performance of 2 stage pulse tube cryocooler, U-type pulse tube cryocooler is fabricated and connecting tubes are minimized for reducing dead volumes and pressure losses. Also, to get larger capacities, orifice valves and double inlet valves are optimized and the compressor of 6 kW is used. On the latest unit, the lowest temperatures of 2 stage pulse tube cryocooler are 42 K (1st stage) and 8.3 K (2nd stage) and the cooling capacities are 40 W at 82.9 K (1st stage) and 10 W at 20.5 K (2nd stage) with 6.0 kW of compressor input power. This pulse tube cryocooler is suited for commercial medium size cryopump. In performance test of cryopump with 2 stage pulse tube cryocooler, pumping speed for gaseous nitrogen is 4,300 L/s and the ultimate vacuum pressure is 7.5  10-10 mbar.

목차

Abstract
 1. INTRODUCTION
 2. DESCRIPTION OF CRYOPUMP
 3. PULSE TUBE CRYOCOOLER
 4. TEST RESULTS OF THE CRYOPUMP
  4.1 Fabrication of the cryopump
  4.2 Pumping speed and ultimate pressure of the cryopump
 5. SUMMARY
 ACKNOWLEDGMENT
 REFERENCES

저자

  • Seong-Je Park [ Energy Systems Research Division, Korea Institute of Machinery & Materials ] Corresponding author
  • Deuk-Yong Koh [ Energy Systems Research Division, Korea Institute of Machinery & Materials ]
  • Jeong-Kyoon Suh [ Energy Systems Research Division, Korea Institute of Machinery & Materials ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국초전도저온학회 (구 한국초전도저온공학회) [The Korean Society of Superconductivity and Cryogenics (KSSC)]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    공학>전기공학
  • 소개
    21세기 핵심기술인 초전도공학과 저온공학분야의 기술 수준을 향상시키고, 선진 외국의 관련 학회와의 국제 교류 뿐만 아니라 이 분야에서 산.학.연의 학술활동 및 기술교류의 구심점으로의 그 역할을 성실히 수행하고자 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국초전도·저온논문지 (구 한국초전도저온공학회논문지) [Progress in Superconductivity and Cryogenics]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    1229-3008
  • eISSN
    2287-6251
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재,SCOPUS
  • 십진분류
    KDC 427 DDC 537

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