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Chemical and Physical Properties of Porous Silicon
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- 간행물
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) KCI 등재후보 바로가기
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- 통권
- 제4권 1호 (2011.03)바로가기
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- 페이지
- pp.1-6
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A153918
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원문정보
초록
- 영어
- The properties of porous silicon, such as substrate properties, porosity, thickness, refractive index, surface area, and optical properties of porous silicon were reviewed. Some properties, such as porosity, refractive index, thickness, pore diameter, multi-structures, and optical properties, are strongly dependent on the anodization process parameters. These parameters include HF concentration, current density, anodization time, and silicon wafer type and resistivity.
목차
Abstrac
1. Introduction
2. Experimental Section
2.1. Preparation of PSi
2.2. Instrumentation and Data Acquisition
3. Result and Discussion
3.1. Substrate Properties
3.2. Porosity
3.3. Thickness
3.4. Surface Area
3.5. Optical Properties
3.6. Characterization of Porous Silicon
4. Conclusion
References
키워드
Porous Silicon Optical Property Refractive Index Porosity저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
- 설립연도
- 2008
- 분야
- 자연과학>자연과학일반
- 소개
- 본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업
간행물
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- 간행물명
- 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
- 간기
- 계간
- pISSN
- 2005-1042
- 수록기간
- 2008~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 405 DDC 505
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