On the surface of mesoporous silica thin films (MSTF) which were fabricated by sol-gel approach there are existences of water and three different silanol types including chained, germinal and isolated silanol. Their amounts changes as a function of aging time of used sol solution, as confirmed by FT-IR. The adsorbed water generates ionic carriers such as H+ and OH- and passivates the Si dangling bonds at the interface of silicon wafer-MSTF. The ionic carriers can not only transport across the thickness of thin film to enhance the leakage current but also diffuse toward the silicon wafer-MSTF interface to depassivate Si dangling bonds. On the other hand, chained silanols or germinal silanols promote the moisture adsorption of MSTF and tend to form strongly hydrogen bonded systems with adsorbed water molecules resulting in very high dielectric constant. Isolated silanol, on the contrary, affects less on electrical properties of thin film.
목차
Abstract 1. Introduction 2. Experimental Section 3. Result and Discussion 4. Summary References
조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
설립연도
2008
분야
자연과학>자연과학일반
소개
본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다.
1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구
2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최
3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육
4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간
5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간
6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업
간행물
간행물명
통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]