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DBR 다공성 실리콘을 이용한 휘발성 유기화합물의 감지
Detection of Voletile Organic Compounds by Using DBR Porous Silicon

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 바로가기
  • 통권
    제2권 4호 (2009.12)바로가기
  • 페이지
    pp.275-279
  • 저자
    박철영
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A153874

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원문정보

초록

영어
Recently, number of studies for porous silicon (PSi) have been investigated by many researchers. Multistructured porous silicon such as a distributed Bragg reflector (DBR) PSi, has been a topic of interest, because of its unique optical properties. DBR PSi were prepared by using an electrochemical etch of P++-type silicon wafer with resistivity between 0.1 and 10 mΩcm. The electrochemical etch with square wave current density results in two different refractive indices in the porous layer. In this work, DBR porous silicon chips for a simple and portable organic vapor-sensing device have fabricated. The optical characteristics of DBR PSi have been investigated. DBR porous silicon have been characterized by FT-IR and Ocean optics 2000 spectrometer. The device used DBR PSi chip has been demonstrated as an excellent gas sensor, showing a great senstivity to organic vapor at room temperature.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 실험
  2.1. DBR 다층 다공성 실리콘 합성
  2.2. 친수성 다공성 실리콘의 합성
  2.3. 소수성 다공성 실리콘의 합성
  2.4. 측정기계
 3. 결과 및 고찰
 4. 결론
 참고문헌

키워드

Distributed Bragg reflector (DBR) PSi FT-IR

저자

  • 박철영 [ Cheol Young Park | 한국생산기술연구원 호남권 기술본부 ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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