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포토 레지스트의 기술 동향과 화학 증폭형 포토레지스트에서의 광산 발생제의 연구
Technology Trends for Photoresist and Research on Photo Acid Generator for Chemical Amplified Photoresist

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 바로가기
  • 통권
    제2권 4호 (2009.12)바로가기
  • 페이지
    pp.252-264
  • 저자
    김성훈, 김상태
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A153871

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원문정보

초록

영어
Lithographic data obtained from PHS(polyhydroxy styrene) having various functionalities were investigated by using a photoacid generator based on diazo and onium type. Chemically amplified photoresist based on the KrF type photoresist was developed by using a photoacid generator and multi-functional resin. Thermal stability for the photoacid generator showed that the increase of loading amount of photoacid generator resulted in the decrease of glass transintion temperature (Tg). The photoacid generators having methyl, ethyl, or propyl group in their cationic structure produced T-top structure in pattern profile due to the effect of acid diffusion during the generation of acid in the resist. The increase of carbon chain length in the anionic structure of photoacid generators resulted in lower pattern resolution due to the interruption of acid diffusion.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 반도체 산업 및 소재 산업
  2.1. 국내 반도체 재료 시장 전망
 3. 포토 리소그래피 기술
  3.1. 리소그래피 기술 동향
 4. 화학 증폭형 포토 레지스트의 광산 발생제(Photoacid generator)
  4.1. 광산 발생제(Photoacid generator)의 양에 따른 레지스트의 열적 변화
  4.2. 광산 발생제(Photoacid generator)의 양이온의 구조에 따른 프로파일 변화
  4.3. 광산 발생제(Photoacid generator)의 음이온의 구조에 따른 프로파일 변화
  4.4. 광산 발생제(Photoacid generator)의 산도에 따른 프로파일 및 해상도 변화
  4.5. 화학 증폭 레지스트(KrF 레지스트) 의 레진 구조적 역할
 5. 결론
 참고문헌

키워드

Photoresist Photoacid Generator Resin Resolution

저자

  • 김성훈 [ Sung-Hoon Kim | 동우화인켐 전자재료연구소 ]
  • 김상태 [ Sang-Tae Kim | 동우화인켐 전자재료연구소 ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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