Earticle

현재 위치 Home

휘발성 유기화합물 탐지용 다공성 실리콘 Microcavity 센서
Porous Silicon Microcavity Sensors for the Detection of Volatile Organic Compounds

첫 페이지 보기
  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 바로가기
  • 통권
    제2권 3호 (2009.09)바로가기
  • 페이지
    pp.211-214
  • 저자
    박철영
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A153865

※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
※ 학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 4페이지 이내 논문은 '요약'만 제공되는 경우가 있으니, 구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.

4,000원

원문정보

초록

영어
A new porous silicon (PSi) microcavity sensor for the detection of volatile organic compounds (VOCs) was developed. PSi microcavity sensor exhibiting unique reflectivity was successfully obtained by an electrochemical etching of silicon wafer. When PSi was fabricated into a structure consisting of two high reflectivity muktilayer mirrors separated by an active layer, a microcavity was formed. This PSi microcavity is very sensitive structures. Reflection spectrum of PSi microcavity indicated that the full-width at half-maximum (FWHM) was of 10 nm and much narrower than that of fluorescent organic molecules or quantum dot. The detection of volatile organic compounds (VOCs) using PSi microcavity was achieved. When the vapor of VOCs condensed in the nanopores, the refractive indices of entire particle increased. When PSi microcavity was exposed to acetone, ether, and toluene, PSi microcavity in reflectivity was red shifted by 28 nm, 33 nm, and 20 nm for 2 sec, respectively.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 실험
  2.1. 다공성 실리콘 Microcavity 필름제작
  2.2. 광학측정기기와 데이터 습득
 3. 결과 및 고찰
 4. 결론
 참고문헌

키워드

Porous silicon Microcavity VOCs Detection Red-shift Reflectivity

저자

  • 박철영 [ Cheol Young Park | 한국생산기술연구원 호남권 기술본부 ] Corresponding author

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

이 권호 내 다른 논문 / 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 제2권 3호

    피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)

    함께 이용한 논문 이 논문을 다운로드한 분들이 이용한 다른 논문입니다.

      출처 : 네이버학술정보

        0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.

        페이지 저장
        소속기관 조회
        이용자님의 소속기관(단체)이 서비스에 가입되어 있는지 확인해 보십시오.
        기관회원에 소속되어 있는 이용자는 원문을 무료로 이용할 수 있습니다.