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Rugate 광결정에서 광학띠와 식각전류의 상관관계
Intercorrelation between Photonic Band and Etch Current on Rugate Photonic Crystals

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  • 발행기관
    조선대학교 기초과학연구원 바로가기
  • 간행물
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 바로가기
  • 통권
    제2권 3호 (2009.09)바로가기
  • 페이지
    pp.207-210
  • 저자
    박종선, 김용민
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A153864

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원문정보

초록

영어
Multiple rugate structures can be etched on a silicon wafer and placed in the same physical location, showing that many sharp spectral lines can be obtained in the optical reflectivity spectrum. Porous silicon samples were prepared by electrochemical etch of heavily doped p-type silicon wafers. The etching solution consisted of a 3:1 volume mixture of aqueous 48% hydrofluoric acid and absolute ethanol. Galvanostatic etch was carried out in a Teflon cell by using a twoelectrode configuration with a Pt mesh counterelectrode. A sinusoidal current density waveform varying between 51.5 and 74.6 mA/cm2 is applied. The anodization current was supplied by a Keithley 2420 high-precision constant current source which is controlled by a computer to allow the formation of PSi multilayer.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 실험
  2.1. Rugate 다공성 실리콘의 합성
  2.2. 측정기기
 3. 결과 및 고찰
  3.1. Rugate 다공성 실리콘 제작 원리
  3.2. 센터 값 (Ai,center)의 변화에 따른 rugate 다공성 실리콘 reflcetivity의 변위
 4. 결론
 참고문헌

키워드

Porous silicon Etch current Reflectivity

저자

  • 박종선 [ Jongsun Park | 단국대학교 응용물리학과 ] Corresponding author
  • 김용민 [ Yongmin Kim | 단국대학교 응용물리학과 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    조선대학교 기초과학연구원 [The Natural Science Research Institute of Chosun]
  • 설립연도
    2008
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구원은 기초과학을 진흥하기 위한 연구·교육 및 그 보급을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여 다음 각 호의 사업을 수행한다. 1. 기초과학 제 분야에 관한 조사와 연구 2. 기초과학에 관한 학술행사(학술대회, 학술세미나, 심포지엄, 초청강연회 등) 개최 3. 학문후속세대 및 일반인을 위한 기초과학 교육 4. 기관지『조선자연과학논문지』 발간 5. 『자연과학연구총서』, 『자연과학번역총서』 등 단행본 발간 6. 기타 본 연구원의 목적과 관련된 사업

간행물

  • 간행물명
    통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) [Journal of Integrative Natural Science]
  • 간기
    계간
  • pISSN
    2005-1042
  • 수록기간
    2008~2025
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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