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학술연구
산업용 질소발생기 성능분석에 관한 실험적 연구
An Experimental Study on the Performance Analysis of a N2 Gas Generator
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
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- 통권
- 제12권 제4호 (2010.12)바로가기
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- 페이지
- pp.49-54
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A134103
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원문정보
초록
- 영어
- Recently, A N2 gas generator has become a very popular issue in application to semiconductor production process. An experimental study has been carried out to investigate the production performance as a N2 purity and production of N2 gas generator. The N2 gas generator used a small size system with two adsorption towers and an air compressor as flow rate 20 m3/h. The N2 gas generator system size is width 2270 mm, length 850 mm and height 2135mm. An experimental data has been measured as the variation of a adsorption temperature, adsorption pressure and adsorption time. The results indicate that the N2 gas production increase in case of decreasing adsorption temperature, increasing adsorption pressure and decreasing adsorption time. The N2 purity is highest value of 99.93% when the governor orifice diameter is 0.5 mm.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
2.1 실험장치
2.2 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
3.1 오리피스 구경 변화
3.2 흡착제 변화
3.3 흡착온도 변화
3.4 흡착압력 변화
3.5 흡착시간 변화
4. 결론
참고문헌
키워드
N2 gas generator(질소발생기) Adsorption tower(흡착탑) Oxygen concentration(산소농도) Adsorption temperature(흡착온도) Adsorption pressure(흡착압력)저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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