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학술연구

1자유도 MEMS 매니퓰레이터의 운동 해석에 관한 연구
A study on motion analysis of 1-D.O.F MEMS manipulator

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  • 발행기관
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
  • 간행물
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
  • 통권
    제11권 제4호 (2009.12)바로가기
  • 페이지
    pp.65-72
  • 저자
    안영명, 유재명
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A114740

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원문정보

초록

영어
Recently, many MEMS manipulator or mechanisms have been developed for application in
nanotechnology and optical sensors. In this paper, the method that is measurement and analysis of the motion-ability is introduced for 1 degree of freedom MEMS Manipulator. To do this, the MEMS manipulator is fabricated on the SOI wafer. It is comprised of a parallel bi-lever flexure mechanism and a bent-beam thermal actuator. The flexure mechanism is comprised of an actuator input stage, four lever arms, ten circular flexure hinges, and an output stage. Each flexure hinge provides a point of compliance and acts similar to a rotational joint with an attached rotational spring. These components are significantly stiffer than the flexure hinges, so that they act as rigid bodies in the plane of motion. The static and dynamic parameters of fabricated manipulator are measured and analysis by 3D optical profiling system. It contains a CCD camera, a field-of-view (FOV) lens, a filter assembly, and an illumination source. Light from the illuminator travels through the system and is reflected down to the objective by a beamsplitter. Once the light reaches the objective, another beamsplitter separates the light into two beams. One beam, the reference beam, reflects form a super smooth reference mirror in the objective, while the other reflects form the surface of the sample and back to the objective. With this
system, we can measure and analyze the resolution, accuracy, precision, stability and responsibility of MEMS manipulator and it is very useful for fabrication or application of improved manipulator without surface damage.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 1 자유도 MEMS 매니퓰레이터의 제작
  2.1 MEMS 매니퓰레이터의 설계
  2.2 MEMS 매니퓰레이터의 제작
 3. 측정시스템
  3.1 기본 모드
  3.2 동적 MEMS (DMEMS) 시스템
 4. 실험결과
 5. 결론
 후기
 References

키워드

MEMS Manipulator(MEMS 매니퓰레이터) MEMS Fabrication(MEMS 제작) Thermal Actuator(열 액츄에이터) SPM(Scanning Probe Microsocpe : 주사탐침현미경) VSI(Vertical scanning Interferometry : 수평스캔간섭계)

저자

  • 안영명 [ Y. M. AHN | 서일대학 자동차과 부교수 ]
  • 유재명 [ J. M. YOO | 미국립표준기술원 연구원 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
  • 설립연도
    1999
  • 분야
    공학>기계공학
  • 소개
    기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.

간행물

  • 간행물명
    한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
  • 간기
    격월간
  • pISSN
    1229-604X
  • eISSN
    2508-3805
  • 수록기간
    1999~2026
  • 등재여부
    KCI 등재
  • 십진분류
    KDC 550 DDC 620

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