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주사탐침현미경의 진동 규제치 결정 및 바닥 진동 특성 분석
Evaluation of the permissible floor vibration level for the scanning probe microscopes and analysis of the floor vibration properties
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- 발행기관
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) 바로가기
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- 간행물
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) KCI 등재후보 바로가기
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- 통권
- 제11권 제1호 (2009.03)바로가기
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- 페이지
- pp.1-5
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A106217
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원문정보
초록
- 영어
- Atomic Force Microscopes(AFM) is used to scan surfaces of a sample by measuring the interaction between atoms on the sample and the extremely sharp probe tip, which is produced by micromachining. AFM can be used as an inspection equipment for microelectronics industry and also requires a vibration-free environment to provide its proper functions. However, all of machine foundations including the wafer fab floor show the great amount of floor vibrations which can cause bad effects on the AFMs. This paper deals with the permissible floor vibration level for AFM at a given resolution.
목차
Abstract
1. 서 론
2. 본 론
2.1 바닥 진동의 특성
2.2. 정상응답 및 과도 응답
2.3 진동 시험
2.4 실험 결과 : 정상 상태 바닥 진동 허용치
2.5 고찰 : 과도 진동 제진 대책 및 방법
3. 결 론
참 고 문 헌
키워드
atomic force microscope floor vibration vibration measurement저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국기계항공기술학회(구 한국기계기술학회) [Korean Society of Mechanical Technology]
- 설립연도
- 1999
- 분야
- 공학>기계공학
- 소개
- 기계 관련 산업 분야에 관한 학술과 현장 적용 기술을 연구하고 교류하며, 이에 관련된 학문과 기술 발전 및 보급에 기여함으로써 과학과 기술의 진흥에 이바지함을 그 목적으로 한다.
간행물
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- 간행물명
- 한국기계항공기술학회지(구 한국기계기술학회지) [Journal of the Korean Society of Mechanical and Aviation Technology ]
- 간기
- 격월간
- pISSN
- 1229-604X
- eISSN
- 2508-3805
- 수록기간
- 1999~2026
- 등재여부
- KCI 등재
- 십진분류
- KDC 550 DDC 620
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