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패턴 Top Rounding 효과를 고려한 패턴 붕괴 전산모사
Resist Pattern Collapse with Top Rounding Resist Profile

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  • 발행기관
    한양대학교 이학기술연구소 바로가기
  • 간행물
    이학기술연구지 바로가기
  • 통권
    제5집 (2002.09)바로가기
  • 페이지
    pp.129-134
  • 저자
    이형주, 박준택, 오혜근
  • 언어
    한국어(KOR)
  • URL
    https://www.earticle.net/Article/A106117

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원문정보

목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 패펀 붕괴의 역학적 해석
  2.1 패턴이 세척액으로부터 받는 압력
  2.2 패턴이 세척액으로부터 받는 압력에 따른 모델링
  2.3 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴의 해석
 3. Critical aspect ratio 계산
 4. Critical aspect ratio 계산 결과
 5. 패턴 변형 계산 결과
 6. 시뮬레이션 결과
 7. 결과 및 고찰
 참고문헌

저자

  • 이형주 [ Hyung-Joo Lee | 한양대학교 응용물리학과 ]
  • 박준택 [ Jun-Taek Park | 한양대학교 응용물리학과 ]
  • 오혜근 [ Hye-Keun Oh | 한양대학교 응용물리학과 ]

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

간행물 정보

발행기관

  • 발행기관명
    한양대학교 이학기술연구소 [Institute of Natural Science and Technology Hanyang University]
  • 설립연도
    1998
  • 분야
    자연과학>자연과학일반
  • 소개
    본 연구소는 국내외 학계, 연구기관 및 산업체와 상호교류 및 공동 연구 활동을 통하여 국내외 및 교내 자연과학의 활성화와 산업 발전에 기여하려고 한다. 또한 벤처기업의 창업을 독려하고 있으며, 운영위원회의 결정에 따라서 연구소의 행정 전반 사항을 편성하여 연구소를 운영하고 있다.

간행물

  • 간행물명
    이학기술연구지 [Journal of Natural Science and Technology]
  • 간기
    연간
  • pISSN
    2005-9051
  • 수록기간
    1999~2009
  • 십진분류
    KDC 405 DDC 505

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