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정전탐침을 이용한 ICP Plasma에서의 E-H mode 변환에 관한 연구
A Study on E-H Mode Transition in An ICP Plasma
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- 발행기관
- 한양대학교 이학기술연구소 바로가기
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- 간행물
- 이학기술연구지 바로가기
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- 통권
- 제3집 (2001.02)바로가기
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- 페이지
- pp.57-64
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- 저자
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- 언어
- 한국어(KOR)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A106060
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원문정보
목차
요지
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
2.1. RF 플라즈마에서의 시간에 따라 변화하는 플라즈마 전위
2.2. RF 플라즈마에서의 부유전위의 Negative shift 현상
2.3. E-H Mode 변환
3. 실험 장치 및 방법
3.1. 반응기 및 실험 장치
3.2. 정전탐침
3.3. Capacitive 탐침
3.4. magnetic 탐침
4. 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한양대학교 이학기술연구소 [Institute of Natural Science and Technology Hanyang University]
- 설립연도
- 1998
- 분야
- 자연과학>자연과학일반
- 소개
- 본 연구소는 국내외 학계, 연구기관 및 산업체와 상호교류 및 공동 연구 활동을 통하여 국내외 및 교내 자연과학의 활성화와 산업 발전에 기여하려고 한다. 또한 벤처기업의 창업을 독려하고 있으며, 운영위원회의 결정에 따라서 연구소의 행정 전반 사항을 편성하여 연구소를 운영하고 있다.
간행물
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- 간행물명
- 이학기술연구지 [Journal of Natural Science and Technology]
- 간기
- 연간
- pISSN
- 2005-9051
- 수록기간
- 1999~2009
- 십진분류
- KDC 405 DDC 505
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