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바이오센서 및 바이오칩 분야
Fabrication of Silicon Nanowire Pattern Using Nanoimprint Lithography as a Platform of Nanobiochip
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- 발행기관
- 한국생물공학회 바로가기
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- 간행물
- 한국생물공학회 학술대회 바로가기
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- 통권
- 2009 춘계학술대회 및 국제심포지움 (2009.04)바로가기
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- 페이지
- pp.187-187
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- 저자
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- 언어
- 영어(ENG)
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- URL
- https://www.earticle.net/Article/A105331
※ 원문제공기관과의 협약기간이 종료되어 열람이 제한될 수 있습니다.
원문정보
초록
- 영어
- Recently, a successful outcome of solid device such as high integrated memory, optoelectronic device and biochip is in the development of nanosclae lithographic technique. In other words, nanoscale controlling is key point to improve these devices. Compare with electrical beam lithography, optics lithography, and NIL, Nanoimprint lithography (NIL) is most effective to make nanostructure because of its merits. NIL can provide inexpensive and easier method to generate large area of nanoscale patterns. Especially ultraviolet-nanoimprint lithography (UV-NIL) is
extensively used among nanoimprint lithography method because of efficiency in view of cost and time. By using this UV-NIL technique, we have successfully fabricated 100nm wide silicon nanowire patterns on the Silicon on insulator (SOI) wafer. The fabricated nanowire patterns were distinguished by FE-SEM and the characteristic of nanowire conductance were measured by semiconductor parameter analyzer. Consequently, these nanopatterned SOI substrates would be
able to use as bioplatform for nanoscale biochips. Acknowledgments: This research was supported by Nuclear R&D program through the Korea Science and Engineering Foundation (KOSEF) funded by the Ministry of Education, Science and Technology (MEST) of Korea (Grant No. M20706010003-08M0601-00310), and by the Ministry of Knowledge Economy (MKE) and Korea Industrial Technology Foundation (KOTEF) through the Human Resource Training Project
for Strategic Technology and by The Korea Science and Engineering Foundation (KOSEF) grant funded by the Korean government (MEST) (2006-05374)
키워드
Silicon nanowire Namoimprint lithography Biochip저자
간행물 정보
발행기관
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- 발행기관명
- 한국생물공학회 [The Korean Society for Biotechnology and Bioengineering]
- 설립연도
- 1984
- 분야
- 공학>생물공학
- 소개
- 이 법인은 생물 공학의 발전과 보급에 이바지하고, 회원 상호 간의 연구 협력과 친목을 도모함을 목적으로 한다 1. 생물공학 분야의 발전을 위한 연구 협력 2. 생물공학의 실용화를 촉진시키기 위한 산학 협동 3. 학술연구 발표회, 강연회, 연수회 등 학술활동의 개최 4. 국,영문 학술지,소식지,학술회의 Proceedings 및 학술도서의 발간 5. 생물공학 발전을 위한 정책 건의 6. 기타 국제 교류 등 본 학회의 목적 달성을 위한 제반 활동
간행물
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- 간행물명
- 한국생물공학회 학술대회
- 간기
- 반년간
- 수록기간
- 1985~2013
- 십진분류
- KDC 476 DDC 576
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