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초록

한국어

웨이퍼 프로브 테스트는 반도체 제조 공정에서 개별 다이의 전기적 특성과 기능적 이상 여부를 공정 초 기 단계에서 검증하는 핵심 검사 공정이다. 이를 통해 수율 관리와 공정 안정성 분석에 필요한 중요한 기준 데이 터를 확보할 수 있다. 그러나 웨이퍼 프로브 테스트 데이터는 서로 이질적인 파일 형식과 구조로 생성되어, 기존 분석 프레임워크 내에서 통합 분석을 수행하는 데 큰 제약이 있다. 특히 STDF 기반의 EDS 파일은 구조가 복잡 하고 데이터 규모가 커 분석 지연을 유발한다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 연구는 다양한 유형의 웨이퍼 프 로브 테스트 데이터를 단일 환경에서 통합 및 처리할 수 있는 시스템을 개발하고, 동시에 시각화 및 고속 분석 기 능을 제공함으로써 공정 데이터 분석의 효율성과 실시간성을 향상시키는 것을 목표로 한다.

영어

The Wafer Probe Test (P-Test) is a critical process in semiconductor manufacturing that validates the electrical characteristics and functional anomalies of individual dies at an early stage. It provides essential baseline data for yield management and process stability analysis. However, P-Test data—including EDS, PCM, Tox, RS, and Defect Maps—are generated in heterogeneous file formats and structures, creating significant limitations for integrated analysis within existing frameworks. In particular, STDF-based EDS files cause analysis delays due to their structural complexity and large volume. To address these issues, this study aims to improve the efficiency and real-time capabilities of process data analysis by developing a system that integrates and processes multi-type P-Test data in a single environment, while simultaneously providing visualization and high-speed analysis.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시스템 설계 및 구현
2.1 다종 P-검 데이터 구조 해석
2.2 Wafer Defect Analyzer UI 구성
Ⅲ. 실험 환경 및 성능 평가 방법
Ⅳ. 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
REFERENCES

저자

• 정동수 [ Dong Soo Jung | 시아이솔루션 대표이사 ]
• 정명희 [ Myung Hee Jung | 중원대학교 사회복지학과 교수 ]
• 한기봉 [ Ki Bong Han | 중원대학교 무인항공기계학과 교수 ] Corresponding Author

참고문헌